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                技术支持:(+86)028-61962718

                D01MH工艺技术自2010年规模商用,是一款125nm的mHEMT工艺;该工艺制备频率最高达90GHz的超低噪声放大器产品。

                D01MH工艺技术已通过欧洲宇航局航天级认证,并被列入欧洲宇航局首选器件清单(EPPL)。

                 

                D01MH工艺射频/直流特性

                l击穿电压:Vbgd=8V(典型值);

                l开启电压:Vt=-0.9V

                截止频率:Ft=150GHz

                l最高频率:Fmax=250GHz

                l噪声系数:NFmin=0.8dB@30GHz

                l增益:11.5dB@30GHz

                l全局钝化处理

                ——外延电阻;

                ——镍铬电阻;

                ——MIM电容(400pf/mm249pf/mm2);

                ——螺旋电感;

                ——空气桥;

                ——通孔;

                ——微凸台;

                ——全局钝化芯片:覆盖150nm氮化硅;

                ——芯片标准厚度100μm(如果有特殊要求,70μm厚度可选);

                ——厚金属层可选,用于优化芯片噪声性能。


                Focus on III-V Semi-Conductor MMICs up to 300GHz!

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